In-situ Prozessanalyse der CVS-Synthese von nano-kristallinem Siliziumkarbid mit Hilfe eines Aerosolmassenspektrometers
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In-situ Prozessanalyse der CVS-Synthese von nano-kristallinem Siliziumkarbid mit Hilfe eines Aerosolmassenspektrometers

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Product details

  • Paperback | 149 pages
  • 147 x 211 x 12mm | 234g
  • Cuvillier Verlag
  • German
  • 3865374360
  • 9783865374363