Microtecnología diario de un proceso : fabricación de un microacelerómetro

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PRESENTACIÓN.- PARTE I. DESCRIPCIÓN DE LOS MICROACELERÓMETROS: Microacelerómetros piezorresistivos basados en tecnología BESOI.- PARTE II. DIARIO DEL PROCESO DE FABRICACIÓN: Diario del proceso de fabricación. Obleas de silicio.- Diario del proceso de fabricación. Obleas de vidrio.- Diario del proceso de fabricación. Dispositivos acabados.- ANEXO I. RELACIÓN DE VÍDEOS INCLUIDOS EN EL DVD.
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